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半導体材料ガス検知器/品番 WPXPS-7 【詳細表示】
商品番号 WPXPS-7 価 格
●センサユニットの交換により、1台で様々なガスを検知。
●メンテナンス時間とコストを大幅削減。
●ガス検知器の校正が不要です。
●小型軽量です。
半導体材料ガス検知器
品番 WPXPS-7
価格 ¥225,000-
■特長
●カセット式センサユニットでガス検知器の校正が不要。
カセット式センサユニットは構成済みでお客様へお届け。簡単に交換ができるので、持ち帰り点検校正や現場での校正作業が不要です。(センサユニットは6ヶ月交換です。)
●センサユニットを交換するだけで対象ガスの変更が可能。
本体が1台あれば、センサユニットの交換だけで様々な対象ガスに対応。ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で、面倒な操作は必要ありません。

センサユニットの交換方法
@側面のセンサユニットカバーを開けます。


Aセンサユニットを取り出し、新しいセンサユニットを差込みます。センサユニットカバーを閉じれば交換終了です。

●メンテナンス時間・コストを大幅削減。
カセット式センサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間が必要ありません。もちろん校正作業も不要で、ランニングコストを大幅に削減できます。
●乾電池・AC電源での駆動が可能。
ACアダプタ(オプション)によりAC電源駆動も可能です。
●小型・軽量コンパクト設計だから両手作業も可能。
重量はわずか1.3s。ロングショルダーベルトの使用で両手作業も可能です。
●多彩な液晶表示機能と大きな見やすいデジタルLCD表示

<通常時>
@フローサイン:フローサインが回転して正常にサンプリングしていることを知らせます。
Aガス濃度表示:ガス種やフルスケールによってppm、ppbに対応します。


<警報時>
Bアラームメッセージ:一段警報で「ARARM1」が、二段警報で「ARARM2」が点灯し、上部の赤色LEDも点滅。
Cガス濃度バーグラフ:フルスケールの5%で1目盛り。バーが右端まで延びるとフルスケールとなり、一目でフルスケールに対する現在のガス濃度がわかりますす。


●ロガー機能付きでパソコンでのでたー管理が可能です。

■外径図(単位mm)


■仕様
検知対象ガス 半導体材料ガス
検知原理 定電位電解式
ガス採気方法 ポンプ吸引式
検知範囲 仕様による
分解能 フルスケールの100分の1表示
指示精度*1 FS±10%以内
警報モード 2段警報方式
警報方式 ブザー(断続音)、アラームランプ点滅
応答時間*1 60秒以内(60%応答)
濃度表示方式 LCDデジタル表示
使用温度範囲 0〜40℃
電源 単3形アルカリ乾電池4本*2
またはAC専用アダプタ(オプション)
電池使用時間 連続12時間以上(アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合)
寸法 本体 W62×H150×D128o(突起部のぞく)
重量 約1.3kg
付属品 ショルダーベルト、単3アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚
注)
*1同一測定条件下による
*2環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合がある。


■センサユニット
●さまざまな半導体材料ガスに対応する豊富なセンサユニットです。

型 式 測定ガス名 化学式 フルスケール 警報設定値 単位 価格
1段目 2段目
WPXDS-7AH アルシン AsH3 250 25 50 ppb ¥28,200-
WPXDS-7BH ジボラン B2H6 500 50 100 ppb ¥28,200-
WPXDS-7CF 三フッ化塩素 ClF3 1 0.05 0.1 ppm ¥28,200-
WPXDS-7CL 塩素 Cl2 5 0.25 0.5 ppm ¥28,200-
WPXDS-7CO 一酸化炭素 CO 250 12.5 25 ppm ¥28,200-
WPXDS-7DC ジクロルシラン SiH2Cl2 25 2.5 5 ppm ¥28,200-
WPXDS-7DS ジシラン Si2H6 25 2.5 5 ppm ¥28,200-
WPXDS-7F2 フッ素 F2 5 0.5 1 ppm ¥28,200-
WPXDS-7GH ゲルマン GeH4 1 0.1 0.2 ppm ¥28,200-
WPXDS-7HB 臭化水素 HBr 10 1.5 3 ppm ¥28,200-
WPXDS-7HC 塩化水素 HCl 25 2.5 5 ppm ¥28,200-
WPXDS-7HF フッ化水素 HF 10 1.5 3 ppm ¥28,200-
WPXDS-7HS 硫化水素 H2S 50 5 10 ppm ¥28,200-
WPXDS-7NH アンモニア NH3 100 12 25 ppm ¥28,200-
WPXDS-7NO 一酸化窒素 NO 100 12 25 ppm ¥28,200-
WPXDS-7OZ オゾン O3 1 0.05 0.1 ppm ¥28,200-
WPXDS-7PH ホスフィン PH3 1 0.15 0.3 ppm ¥28,200-
WPXDS-7SE セレン化水素 H2Se 250 25 50 ppb ¥28,200-
WPXDS-7SH シラン SiH4 25 2.5 5 ppm ¥28,200-


■オプション
品番 品名 価格
WPXDS-OP1 AC専用アダプタ(AC100V/DC6V) ¥mail-
WPXDS-OP2 センサ専用通電台*1 ¥mail-
WPXDS-OP3 ログデータ収集キット ¥mail-
*1本体の台数以上のセンサユニットを所有する場合必要

運賃、および消費税は、記載価格には、含まれていません。