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半導体材料ガス用 ガスクリーナー・ディテクタ/品番XP−703D

【詳細表示】

商品番号 XP−703D

価 格

半導体材料ガスの超微量もれ検知に最適です。

ガスもれをランプとブザーで知らせます。


※アルカリ電池・Ni-Cd電池も使用可能です。



標準付属品

レザーケース、ドレンフィルタ
フィルタエレメント、点検ガス
標準アタッチメント、単3形マンガン乾電池
品番 XP-703D

定価 \138,000-
特価 \126,300-

型   式

XP−703D

検知対象ガス 半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シランなど) 電池使用時間 マンガン電池使用の場合約3時間
検知原理 熱線型半導体式 使用温度範囲 0〜40℃
応答時間 10秒 サイズ(mm) W68×H155×D32
検知表示 ブザー音の断続及びランプの点滅 重  量 約400g
別売りオプション Ni-Cd 電池専用充電器、イヤホン

検知対象ガス

アルシン
(AsH3)

ホスフィン
(PH3)

ジボラン
(B2H6)

シラン
(SiH4)

水素
(H2)

検知可能漏洩量

1.0×10‐7

1.5×10‐7

0.5×10‐7

2.5×‐7

5×10‐7(Pa・m3/S)

検知可能濃度

0.2

0.3

0.1

0.5

1.0 (ppm)


運賃、および消費税は、記載価格には、含まれていません。