一酸化炭素検知警報器/半導体材料ガス検知器/XD-303

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半導体材料ガス検知器／品番ＸＤ－３０３

【詳細表示】

商品番号

ＸＤ－３０３

価　格

定電位電解式センサーを使用しているので、選択性はもちろん、超高感度です。

アルシン、ホスフィン、シラン等、多くの半導体材料ガスを検知します。

読み取りやすいデジタル表示です。

※アルカリ電池も使用可能

※測定対象ガスによって、品番が変わりますのでご注意ください。

型　　　式	ＸＤ－３０３
検知対象ガス	下記に表示しております
検知原理	定電位電解式
採気方式	自動吸引式
指示精度	フルスケール±１０％±1デジット
応答時間	６０％応答４０秒
使用温度範囲	０～４０℃
電　源	単2マンガン電池6本
電池使用時間	マンガン電池使用時の場合約20時間
サイズ（mm）	W86×H175×D140
重　量	約2.5㎏

廃番
品番 XＤ-303
定価　\270,000-

標準付属品

レザーケース

単２マンガン電池６本

フィルタセット付吸引パイプ

ガス導入管（本体接続用プラグ付き）

品番	対象ガス	検知範囲（ｐｐｍ）	最小目盛（ｐｐｍ）	警報設定値（ｐｐｍ）
ＸＤ－３０３NH	アンモニア	0～100	1	50
ＸＤ－３０３SH	モノシラン	0～25	0.1	5.0　※１
ＸＤ－３０３DCS	ジクロルシラン	0～25	0.1	5.0　※１
ＸＤ－３０３SD	二酸化硫黄	0～25	0.1	5.0　※2
ＸＤ－３０３AH	アルシン	0～1	0.01	0.20 ※2
ＸＤ－３０３AHL	アルシン	0～0.25	0.01	0.05 ※2
ＸＤ－３０３PH	ホスフィン	0～1	0.01	0.30 ※2
ＸＤ－３０３BH	ジボラン	0～3	0.01	1.00 ※2
ＸＤ－３０３BHL	ジボラン	0～1	0.01	0.10 ※2
ＸＤ－３０３HSE	セレン化水素	0～3	0.01	1.00
ＸＤ－３０３GH	モノゲルマン	0～3	0.01	1.00
ＸＤ－３０３FL	フッ素	0～5	0.1	1.0 ※3
ＸＤ－３０３CL	塩素	0～5	0.1	1.0 ※3
ＸＤ－３０３ND	二酸化窒素	0～10	0.1	3.0 ※3
ＸＤ－３０３CLF3	三フッ化塩素	0～1	0.1	0.20 ※2
ＸＤ－３０３HCL	塩化水素	0～25	0.1	5.0　※１
ＸＤ－３０３HF	フッ化水素	0～10	0.1	3.0　※１
ＸＤ－３０３HBR	臭化水素	0～25	0.1	3.0　※１

※1 サービスレンジ３０ｐｐｍまで表示
※2 サービスレンジ３ｐｐｍまで表示
※3 サービスレンジ１５ｐｐｍまで表示

運賃、および消費税は、記載価格には、含まれていません。