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静電気監視装置/品番 SAS-1M/SAS-1T

【詳細表示】

商品番号 SAS-1M/SAS-1T

価 格

ICの大敵である微弱静電気の発生をキャッチ。静電気除去機をフィードバックコントロール出来る、生産ライン用の静電気監視装置です。特にICの生産ラインに最適です。



SAS-1M(本体)
製造中止


SAS-1T(モニターテスター)
製造中止
特長

1.低電位静電気(±20〜400V)を精度よく検知します。
2.静電気圧はデジタル表示され直読できます。
3.許容値を越える時、警報表示(LED)、警報ブザー、リレーの出力を行います。
4.移動している物でも帯電検知できます。
(被測定物速度:0〜50cm/秒)
5.小物製品でも検知できます。(最小被測定面積:25mu)
6.センサー出力により、測定や記録ができます。
用途

1.半導体工場の製造・検査ライン
2.電子機器・部品組立工場の製造・検査ライン
3.半導体製造装置への組込
4.電子機器・部品組立装置への組込
5.その他静電気対策を必要とするラインや装置への組込等
仕様
  項目 仕様
制御仕様 検出電圧 ±20〜±400V
検出距離 d=5mm(d=センサー〜被測定物表面の距離)
表示 数値 7セグメントLEDによる3桁表示
レベル 10ケのバーLEDによるレベル表示
判定結果 5ケのLEDによる判定結果表示
レベル設定 デジタル数値による設定
確率的
異常判定
カウンタ周期 Tc Tc=1〜30sec
カウンタN N=1〜15
ブザー警報 判定結果によるブザー出力(5種類複数選択)
リレー制御 判定結果によるリレー制御(5種出力)
リレーON時間To To=1〜30sec
ブザー出力 音圧70dB(at20cm)
リレー出力 最大開閉電圧電流
DC24V/0.2A,AC100V/0.05A
センサー出力 DC出力 MAX11V(計測・記録計用)
一般仕様 供給電源 AC100〜230V、50/60Hz
周囲温度 動作時/10〜40℃、保存時/-10〜+50℃
周囲湿度 35〜85%RH結露なきこと
雰囲気 腐食性ガス、爆発性ガス及び粉塵なきこと
近くに強電界なきこと
寸法 本体 120W×67H×160L(mm)
センサー 31W×43H×80L(mm)


運賃、および消費税は、記載価格には、含まれていません。