測定原理
○センサの構造 　1×１×０．４mmのアルミナ基板の両面に白金薄膜のヒーターと電極がそれぞれ形成されています。電極上には感応材料として金属酸化物半導体（酸化亜鉛：ZnO）が一定の厚みで塗布・焼結されています。　 基板型薄膜半導体式センサ模式図
○センサの原理 　金属酸化物半導体はヒータによって加熱され、約５００℃の動作温度に保たれています。半導体表面上にニオイ分子が吸着・反応すると半導体の抵抗値が変化します。この抵抗値変化を電気回路により電圧変化として取り出します。 　一般に半導体式ニオイセンサーは、（１）低濃度のニオイに対して高感度検出が可能である。（２）物理化学的に安定であり長期安定性に優れる（３）数百度に加熱して使うために周囲の温度・湿度の影響を比較的受けにくいなどの特徴があります。 基本回路図
○センサの感度特性 　このセンサーは水素やメタンのような無臭ガスに対して感度が低く、ニオイのあるガスに対して 幅広く感応し、高い感度を示します。特にニオイのあるガスの中でも、硫黄系化合物など悪臭の原因となるガスに対する感度が非常に高いセンサです。センサの特性は種々の有臭ガス成分に感度を持ち、それぞれの感度特性は異なるという特徴がある。
センサの各種ガスに対する感度特性 ガス測定器一覧へ戻る   次のページへ
ガス測定原理情報　No.1
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